石英晶體不僅具有壓電效應(yīng),而且還具有優(yōu)良的機(jī)械特性、電學(xué)特性和溫度特性。利用石英晶體本身的物理特性制作的電子元件,在穩(wěn)頻和選頻方面都有突出的優(yōu)點(diǎn)。隨著通訊、電子技術(shù)的發(fā)展,在在數(shù)字,計(jì)算機(jī),通訊等等領(lǐng)域,對(duì)石英晶片的需求量大幅度的上升,同時(shí)要求不斷提高石英晶片的基頻,一般傳統(tǒng)工藝已經(jīng)很難滿足市場(chǎng)增長(zhǎng)的需求。一般在陶瓷研磨機(jī)、拋光中怎樣加工石英晶片,使其具有表面粗糙度低,無(wú)劃痕、平滑光澤無(wú)畸變的基片表面。以下簡(jiǎn)單介紹一下石英晶片的加工時(shí)工序要點(diǎn):
1.采用X射線衍射方法來(lái)測(cè)量石英晶片的切角,使頻率集中;
2.一般采用雙面研磨機(jī)來(lái)去除晶片表面的切割時(shí)的破損層,提高晶片表面的光澤度,同時(shí)使晶片磨削至適合的厚度達(dá)到要求的頻率;
3.采用50攝氏度左右,含有丙酮、堿酸呈和的純水來(lái)進(jìn)行超聲波清洗。
4.用裝有金鋼石滾筒將石英晶片的邊緣、倒邊磨削成曲面,從而提高晶片的性能。
5.為了保證頻率,可以采用HF作為腐蝕劑來(lái)去除表面劃痕,能提升石英晶片表面質(zhì)量。
6.采用激光分頻設(shè)備來(lái)進(jìn)行頻率的分選,實(shí)現(xiàn)頻度集中化。
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